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QR系列區熔單晶硅爐
QR

QR系列區熔單晶硅爐

■ 最大可拉制8英寸區熔單晶硅棒
■ 高穩定性的上下軸傳動(dòng)機構
■ 高可靠性的上 下軸密封機構
■ 高穩定性的高頻振蕩電源
QR
產(chǎn)品描述

QR系列區熔爐是我公司自主開(kāi)發(fā)的專(zhuān)用于拉制區熔單晶硅棒的設備,是- -種綜合了機械、電力、電子、真空等多個(gè)專(zhuān)業(yè)的具有高技術(shù)含量的自動(dòng)化設備。我公司已申請并授權了二項發(fā)明專(zhuān)利,十二
項實(shí)用新型專(zhuān)利。該設備能夠完全替代進(jìn)口區熔爐設備。
QR系列區熔爐的操作自動(dòng)化程度高、檢測功能完善、保護功能齊全,參數調整靈活簡(jiǎn)便,能最大限度的滿(mǎn)足各種拉晶工藝的調整。
QR系列區熔爐能夠拉制單晶直徑為2英寸~8英寸,最大拉單晶長(cháng)度為1000mm^ 2200mm (等徑部分),并可進(jìn)行本征、氣摻區熔單晶的拉制。

 

關(guān)鍵詞:
拉制
單晶硅
最大
8英寸
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未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加
GX系列硅芯爐
GX系列硅芯爐
■ 發(fā)明專(zhuān)利2項、 實(shí)用新型專(zhuān)利12項
■ 穩定拉制7根硅芯
■ 自主知識產(chǎn)權的硅芯線(xiàn)圈
QM系列全自動(dòng)氣門(mén)熱處理機床
QM系列全自動(dòng)氣門(mén)熱處理機床
■ 溫度檢測+能量控制
■ 工控機數據存儲記錄系統
■ 高穩定性的高頻振蕩加熱電源
■ 全自動(dòng)上 下料、不合格品分揀
QR系列區熔單晶硅爐
QR系列區熔單晶硅爐
■ 最大可拉制8英寸區熔單晶硅棒
■ 高穩定性的上下軸傳動(dòng)機構
■ 高可靠性的上 下軸密封機構
■ 高穩定性的高頻振蕩電源
YM系列雙面研磨機
YM系列雙面研磨機
■ 四動(dòng)作研磨機理
■ 多電機聯(lián)合拖動(dòng),保證了高質(zhì)量的晶片精度
■ 壓力控制采 用比例閥和傳感器實(shí)現閉環(huán)反饋
■ 內置8套20步研磨程序
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我們是省級民營(yíng)高科技企業(yè),是專(zhuān)業(yè)研制,生產(chǎn)數控精密研磨拋光設備,多線(xiàn)切割設備,氣門(mén)自動(dòng)淬火設備,區熔爐、硅芯爐,區熔單晶硅棒及片的高新技術(shù)企業(yè)。

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